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  装片 超声波清洗 制绒 去离子水清洗 IPA 脱水 扩散? 等离子体边缘刻蚀? 去磷硅玻璃 ?IPA 脱水? PECVD ?电极丝网印刷及烘干? 电极烧结? 分类检测 ?包装入库


  其中:扩散、PECVD、烧结是关键工序,各工序必须制订严格的工艺要求和工艺参数


  车间温湿度要求


  由于制程工艺特殊性,所要求的送、排风、送、排水管道多,且风量大,因此车间的层高为 5-6m,其中车间的吊顶高度为 3.0m.周边设施需配制的机房有:纯水机房、酸排处理塔、有机气体处理机房、硅烷燃烧塔、废水处理机房、冷却水泵房、空调风柜及冰水主机房、压缩空气及其它特气机房。机房大小根据机台的需求量来选定。主体结构为钢结构的厂房需为各种管道配制承重的二次钢结构,二次钢结构的高度为 5-6m。


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2020-09-17 09:38:45


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